Описание
Дизайн колонны GEMINI обеспечивает превосходное качество изображения и стабильный пучок электронов при низких ускоряющих напряжениях. ΣIGMA VP в состоянии разрешить структуры размерами всего 1.5 нм.

SIGMA VP MAT

Растровые электронные микроскопы серии SIGMA с полевой эмиссией – это следующая ступень развития микроскопов серии EVO. Новая уникальная электронная колонна GEMINI со встроенным внутрилинзовым детектором дает беспрецедентное разрешение, яркость и контрастность изображений. А изолированный от камеры сверхвысокий вакуум в пушке и возможность изменения вакуума в камере позволяет исследование диэлектрических (непроводящих) объектов.

SIGMA технология Gemini

Колонна GEMINI использует термополевой катод Шоттки, который создает ультрастабильный ток зонда для наблюдения образца и аналитических применений. Использование катода Шоттки с присущим ему большим временем жизни вносит существенный вклад в разрешающую способность колонны.

Ускоритель луча в колонне (бустер) обеспечивает пролет электронов в высоком вакууме колонны при высоких энергиях без кроссоверов. Это позволяет добиться беспрецедентного качества изображений на сверхнизких ускоряющих напряжениях вплоть до 20 В. Особая конструкция объективной линзы GEMINI минимизирует магнитное поле, что позволяет исследовать магнитные образцы.
При работе с высоким вакуумом используйте внутрилинзовый детектор вторичных электронов для достижения исключительного топографического контраста в изображениях. Опциональный режим переменного давления позволяет легко и удобно исследовать непроводящие образцы одним нажатием клавиши, без переюстировки апертур. Модернизируйте Вашу систему путем установки детектора вторичных электронов с переменным давлением (VPSE).

Технические характеристики