Цена

GeminiSEM

У растрового электронного микроскопа GeminiSEM легкость обработки изображений дает суб-нанометровое разрешение и высокую эффективность обнаружения, даже в режиме переменного давления чувствуешь как работаешь в высоком вакууме.

Описание
GeminiSEM является представителем сканирующих электронных микроскопов с полевой эмиссией катода (FESEM) с легендарной технологией колонны Gemini, предоставляющей возможность собирать максимум информации с наиболее обширного ряда материалов.

GeminiSEM предназначен для легкого получения изображений в субнанометровом диапазоне разрешений с усовершенствованной эффективностью детектирования.

Технология
Линейка GeminiSEM основана на технологии Gemini, которая совершенствовалась более 20 лет. Теперь она обладает возможностью эффективнейшего детектирования с превосходным разрешением и с простотой в использовании. Улучшенный сдвоенной (электростатической и электромагнитной) объективной линзы позволяет максимизировать оптическое разрешение и минимизировать воздействие на образцы. Такая технология позволяет параллельно детектировать осевыми детекторами вторичных и обратнорассеянных электронов (Inlens SE и EsB), расположенными внутри электронной колонны на оптическом пути электронного луча с уменьшением времени на построение изображений. Система ускорения луча (Beam booster) гарантирует сочетание малого размера пятна электронного луча и высокого отношения сигнал/шум при малых значениях ускоряющего напряжения.

Больше детализации. Больше сигнала
Благодаря усовершенствованному дизайну электронно-оптической системы GeminiSEM позволяет получать субнанометровое разрешение при низких и ультранизких ускоряющих напряжениях с превосходной эффективностью детектирования. В то же время сигнал осевого детектора вторичных электронов (Inlens SE) усилен в 20 раз для режима низкого ускоряющего напряжения. Уменьшение разброса энергии падающего луча в режиме высокого разрешения позволяет минимизировать хроматические абберации даже при малых размерах пятна луча. В режиме последовательного торможения электронов (Tandem deceleration) тормозящее напряжение прикладывается к предметному столику, тем самым улучшается разрешение ниже 1 кВ и усиливается эффективность внутрикамерных детекторов обратнорассеянных и просвечивающих электронов (BSE и STEM). Оба данных детектора были усовершенствованы и оптимизированы для работы при низких ускоряющих напряжениях и для режима ультрабыстрого сканирования. Угловой aSTEM детектор обладает максимальной гибкостью, позволяющей использовать все режимы контрастирования, даже параллельно.

Расширенный режим VP
Технология NanoVP с давлением до 150 Па предлагает лучший способ уменьшения эффекта заряда непроводящих образцов с использованием возможностей осевых Inlens и EsB детектора. При установлении апертуры дифференциальной откачки под объективной линзой длина пробега электронов до образца и, соответственно, рассеяние луча значительно сокращается. Давление может быть расширено до 500 Па с использованием внутрикамерного VPSE детектора.

Технические характеристики GeminiSEM

Характеристики GeminiSEM 300 GeminiSEM 500
Ускоряющее напряжение 0,02-30 кВ
Разрешение 0,8 нм при 15 кВ;
1,4 нм при 1 кВ
0,6 нм при 15 кВ;
1,1 нм при 1 кВ;
0,9 нм при 1 кВ при Tandem decel;
1,2 нм при 0,5 кВ
1,7 нм при 30 Па и 3 кВ 
Ток пучка 3 пА – 20 нА (100 нА опционально)
Увеличение 12 – 2 000 000 крат 20 – 2 000 000 крат
Детекторы базовые Inlens SE, SE, VPSE Inlens SE, EsB, ETD, SESI, STEM, BSD, CL
опциональные aSTEM 4, CL, EDS, EBSD, WDS aSTEM 4, CL, AsB4, EDS, EBSD, WDS
Столик
5-осевой эвцентрический;
X=130 мм; Y=130 мм; Z=50мм; T= от -3º до 70º;
R=360º (непрерывное)
Разрешение кадра 32 k×24 k пикс
Опциональные приспособления, функции 3DSM, шлюз 80 мм, Plasma cleaner, NanoVP (до 500 Пa), Local Charge Compensator, Local Charge Compensator and in situ Oxygen Cleaning, Tandem decel 

ge Compensator and in situ Oxygen Cleaning, Tandem decel