Описание
GeminiSEM является представителем сканирующих электронных микроскопов с полевой эмиссией катода (FESEM) с легендарной технологией колонны Gemini, предоставляющей возможность собирать максимум информации с наиболее обширного ряда материалов.
GeminiSEM предназначен для легкого получения изображений в субнанометровом диапазоне разрешений с усовершенствованной эффективностью детектирования.
Технология
Линейка GeminiSEM основана на технологии Gemini, которая совершенствовалась более 20 лет. Теперь она обладает возможностью эффективнейшего детектирования с превосходным разрешением и с простотой в использовании. Улучшенный сдвоенной (электростатической и электромагнитной) объективной линзы позволяет максимизировать оптическое разрешение и минимизировать воздействие на образцы. Такая технология позволяет параллельно детектировать осевыми детекторами вторичных и обратнорассеянных электронов (Inlens SE и EsB), расположенными внутри электронной колонны на оптическом пути электронного луча с уменьшением времени на построение изображений. Система ускорения луча (Beam booster) гарантирует сочетание малого размера пятна электронного луча и высокого отношения сигнал/шум при малых значениях ускоряющего напряжения.
Больше детализации. Больше сигнала
Благодаря усовершенствованному дизайну электронно-оптической системы GeminiSEM позволяет получать субнанометровое разрешение при низких и ультранизких ускоряющих напряжениях с превосходной эффективностью детектирования. В то же время сигнал осевого детектора вторичных электронов (Inlens SE) усилен в 20 раз для режима низкого ускоряющего напряжения. Уменьшение разброса энергии падающего луча в режиме высокого разрешения позволяет минимизировать хроматические абберации даже при малых размерах пятна луча. В режиме последовательного торможения электронов (Tandem deceleration) тормозящее напряжение прикладывается к предметному столику, тем самым улучшается разрешение ниже 1 кВ и усиливается эффективность внутрикамерных детекторов обратнорассеянных и просвечивающих электронов (BSE и STEM). Оба данных детектора были усовершенствованы и оптимизированы для работы при низких ускоряющих напряжениях и для режима ультрабыстрого сканирования. Угловой aSTEM детектор обладает максимальной гибкостью, позволяющей использовать все режимы контрастирования, даже параллельно.
Расширенный режим VP
Технология NanoVP с давлением до 150 Па предлагает лучший способ уменьшения эффекта заряда непроводящих образцов с использованием возможностей осевых Inlens и EsB детектора. При установлении апертуры дифференциальной откачки под объективной линзой длина пробега электронов до образца и, соответственно, рассеяние луча значительно сокращается. Давление может быть расширено до 500 Па с использованием внутрикамерного VPSE детектора.
Технические характеристики GeminiSEM
| Характеристики | GeminiSEM 300 | GeminiSEM 500 | |
| Ускоряющее напряжение | 0,02-30 кВ | ||
| Разрешение | 0,8 нм при 15 кВ; 1,4 нм при 1 кВ |
0,6 нм при 15 кВ; 1,1 нм при 1 кВ; 0,9 нм при 1 кВ при Tandem decel; 1,2 нм при 0,5 кВ |
|
| 1,7 нм при 30 Па и 3 кВ | |||
| Ток пучка | 3 пА – 20 нА (100 нА опционально) | ||
| Увеличение | 12 – 2 000 000 крат | 20 – 2 000 000 крат | |
| Детекторы | базовые | Inlens SE, SE, VPSE | Inlens SE, EsB, ETD, SESI, STEM, BSD, CL |
| опциональные | aSTEM 4, CL, EDS, EBSD, WDS | aSTEM 4, CL, AsB4, EDS, EBSD, WDS | |
| Столик |
5-осевой эвцентрический;
X=130 мм; Y=130 мм; Z=50мм; T= от -3º до 70º;
R=360º (непрерывное)
|
||
| Разрешение кадра | 32 k×24 k пикс | ||
| Опциональные приспособления, функции | 3DSM, шлюз 80 мм, Plasma cleaner, NanoVP (до 500 Пa), Local Charge Compensator, Local Charge Compensator and in situ Oxygen Cleaning, Tandem decel | ||
ge Compensator and in situ Oxygen Cleaning, Tandem decel
